臨界點干燥是一個干燥SEM樣品的高效方法。用這種方法可以保存樣品的表面形態結構，以避免樣品從液態轉變到氣態環境下因表面張力作用而受到結構破壞。在過去，由于需要大量手動操作，臨界點干燥過程非常耗時，并且樣品制備結果重復性很低。在臨界點干燥之前，很多生物樣品通常需要化學固定然后再脫水;在干燥后，需要對樣品鍍膜，使用金，鉑或鈀等金屬，使樣品表面導電化，以適宜SEM分析。